ARTOS Box Boxenreiniger
- Typ Artos 300
- Box & Carrier Cleaner
- Teilereinigung für Boxen, Carrier, Foups und Fosps
- Der Artos 300 ist ein innovatives Reinigungssystem das eine unkomplizierte Reinigung und Trocknung von Boxen sowie Carriern verschiedener Größen ermöglicht.
- Das System besteht aus folgenden Bereichen:
- Prozesskammer mit Karussell
- Tank- und Rohrleitungsmodul
- Elektrik Kabinet
- Pneumatik Modul
- Aufbaumodul mit Lüfter, Heizer, Türantrieb und Karussellantrieb?
- Die Hauptkonstruktion des ARTOS ist in 2 Bereiche teilbar, um sicherzustellen, dass es in alle aktuellen Reinraum Standard-Maße passt und um die Montage vor Ort zu vereinfachen.
Abmessungen
Technische Änderungen vorbehalten
Technische Daten
- Abmessungen der Anlage: ca. B 1.865x D 1.682x H 2.890 mm
Wafer 6″: Kapazität 16 Carrier / Boxen
Wafer 8″: Kapazität 12 Carrier / Boxen
Wafer 12″: Kapazität 6 Foups / Fosps
Zubehör
- Gehäuse FM- 4910 Kunststoff
- Hot DI Wassertank für die Aufbereitung von 65°C DI Versorgungswasser
- Körbe-Sets für den Wechsel auf andere Beladegrößen
- Dosiertank für Chemikalien
- Ramgraber SECS Schnittstelle
- RFID Tracking System
- Fernwartung
- Elektrokabinett als Auszug nach vorne
