CHUNK STAR®
- Die vollautomatische Ätzanlage dient zum Entfernen von organischen und metallischen Verunreinigungen auf der Oberfläche der Polysilizium-Bruchstücke.
- Die Bruchstücke werden in speziellen Warenkörben durch den nasschemischen Reinigungsprozess transportiert.
- Dabei durchlaufen sie verschiedene Ätz- und Spülvorgänge und werden anschließend getrocknet.
- Die Steuerung der Anlage erfolgt über ein Prozeßleitsystem, daß aus einer SPS und einem Industrie- PC besteht.