automatic: TIGER®
Halbautomatische Front End RCA Reinigungsanlage
- Die Anlage ist als Digestorium mit eigenen Abluftstutzen und einstellbaren Drosselklappen ausgebildet.
- Es können Wafer mit einem Durchmesser bis zu 200 mm in einem Standardcarrier (1×8“) verwendet werden.
- Verschiedene Carriergrößen werden automatisch erkannt und gehandelt.
- Bei einem Wechsel der Carriergrößen ist kein Umrüsten erforderlich.
Abmessungen
Technische Änderungen vorbehalten
Technische Daten
- Einfach Systemwartung
- Optimierter Footprint
- Kurze Badwechselzeiten
Zubehör
- DI-Handbrause
- N2-Pistole
- Zusätzliche Prozessbecken
- Dosiersystem
- H2O2 Spiking
- Prozessdatenerfassung
